高精度低温芯片测试系统探针台-蓝海科仪(天津)仪器仪表有限公司

自研高精度低温芯片测试系统探针台成功入驻北京高校实验室

发布时间:2025-10-31 14:10 324次浏览作者:蓝海科仪(天津)仪器仪表有限公司

蓝海科学仪器自主设计、生产的高精度低温芯片测试系统探针台，已成功交付并安装至北京某高校实验室，正式投入科研使用。

可用于半导体芯片高精度光电性能测试，可提供不低于4.5K~350K的可控测试环境温度范围，且样品环境真空度优于5x10^-4 torr

1）探针台为闭循环低温控制系统，可控温度范围4.5K~350K；

2）探针台从室温到最低温3小时(3h)，最低温到室温1.5小时(1.5h)；

3）探针台安装四路开尔文探针，可测试小于2英寸的样品；高精度开尔文探针座X方向位移距离 75mm，Y 方向位移距离25mm，Z 方向位移距离25mm，位移精度 3μm，每路探针配两个三同轴接口。安装1路光纤臂，多模IRVIS光纤，波长范围400-2100nm；

4）探针安装托热锚(热沉)到样品台同级平台，减小探针和样品台同级平台之前的温差，探针安装托温度低于25K；

5）探针台配置两英寸样品台，样品台浮地屏蔽设计，带背部电极，样品台表面镀金处理，探针运动范围覆盖整个样品台；

6）探针台铝电镀真空室(内径215mm×180mm)、铜辐射屏镀金(内径150mm，高度 100mm)辐射屏上带有观察窗(材料蓝宝石，直径50mm)和针臂进入口；

7）探针台真空罩观察窗净尺寸直径65mm，观察窗材料使用熔融石英；

8）探针台样品环境真空度优于 5×10^-4 torr，从大气压到 5×10^-4 torr 时间小于1小时，真空室桌面下端安装KF25真空抽口1个，真空口抽口上安装可拆卸的KF25手动真空阀门，真空室桌面上端安装1个独立放气阀；

9）探针台温度稳定性:全温区优于士50mk；

10）探针台配置样品台上安装1个硅二极管传感器和1个单头加热器,用于测量和控制样品台温度。探针臂上安装1个硅二极管传感器，用于监视探针臂的实时温度。辐射屏上安装1个PT100(铂热电阻)传感器和1个单头加热器，用于测量和控制辐射屏温度。二级冷头上安装1个硅二极管传感器，实时检测二级冷头温度；

11）探针台提供四路温度测量和两路加热输出，组成两路闭环控制，一路闭环控制包括一路温度测量和一路加热输出，一路闭环控制用于样品台，另一路闭环控制用于辐射屏，其余两路温度测量分别用于探针臂和二级冷头。控温仪温度分辨率1mK，加热功率75W，具备通信接口，提供控温软件实施显示监测温度、控制温度；

12）探针台配备工业 CCD 电子显微镜，显微镜 3400万像素，22 英寸显示器；

13）配备一体式水冷机及分子组满足系统正常工作需求。

作为核心科研设备，该探针台凭借强稳定性与高测试精度，精准匹配高校研究需求，为实验数据可靠性提供坚实保障，得到实验室团队认可。蓝海科学仪器将持续深耕国产科研设备研发，以更优稳定性、更高性价比的产品，深度参与国内高校科研工作，助力祖国高校教学与科研事业高质量发展！